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真空钟摆阀

简要描述:真空钟摆阀動閥連接了傳感器,讓控制器可以讓閥門打開,關閉或到第三個位置,提供更好的設定點精確度和可重複性控制功能。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-02-20
  • 访  问  量:859
  • 产品资料:

详细介绍

品牌其他品牌产地进口
加工定制

Htc真空钟摆阀具有高性能真空壓力控制系統,控制節流擺閥板可做開關動作,調整閘板開口大小及調整壓力(手動), 主要設計用來取代傳統的線性作動真空閘閥,以更少的移動零件、更少金屬與金屬間的摩擦,就能讓粉塵減少。以Htc日揚真空鐘擺閥的安裝也比傳統的真空閘閥方式只需要更少的空間即能便利安裝。


真空钟摆阀的应用

高科技制程后段压力控制和隔离阀

应用产业

>> SEMI - 半导体

>> FPD - 光电面板

>> CVD - 化学气相沉积

>> Solar - 太阳能

APC钟摆阀特点

集成整合压力控制

精确的压力控制

密实的隔离

反应时间快

友善简易操作使用接口


材质

本体

A6061-T6

阀板

A6061-T6

开关寿命

200,000 cycles

氦气泄漏率 (一大气压压差)

本体

铝合金

<1×10-9 mbar .l /sec

本体

铝合金 ,超硬阳极处理

<1×10-5 mbar .l /sec

烘烤温度

本体

≤ 120 ℃

驱动器

≤ 80 ℃

电磁阀

≤ 50 ℃

压力范围

铝合金

1×10-8 mbar to 1.2 bar

铝合金 ,超硬阳极处理

1×10-6 mbar to 1.2 bar

最大压差

1.2 bar

开启前压差

≤ 5 mbar

压缩空气压力

4 ~ 6 Kg/cm²

开 / 关时间(秒)

ISO 200

ISO 250

ISO 320

1.2/1.2

1.2/1.2

2.0/2.0

密封圈材质

阀板

Viton O-ring 密封圈

阀盖

Viton O-ring 密封圈

驱动器

气动气缸与手动旋钮

重量

ISO 200

ISO 250

ISO 320

22Kg

32Kg

52Kg

安装位置

水平或垂直

选配

a. 其他密封圈材质
b. 加热器





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